ZEM系列原位拉伸掃描電鏡基于自主研發(fā)的臺(tái)式掃描電鏡，集成原位拉伸樣品臺(tái)，對(duì)樣品進(jìn)行原位拉伸/壓縮/彎曲的過(guò)程中實(shí)時(shí)觀察樣品表面形貌的變化。

ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡-原位拉伸一體機(jī)，采用自主研發(fā)的鎢燈絲電子槍，加速電壓最高20KV可調(diào)，搭配二次電子探測(cè)器、背散射電子探測(cè)器、1000N原位拉伸樣品臺(tái)，實(shí)現(xiàn)掃描電鏡內(nèi)的原位拉伸/壓縮/彎曲實(shí)驗(yàn)。

• 原位拉伸臺(tái)參數(shù)

▲載荷范圍：0-1000N

▲位移分辨率：20nm

▲加熱模塊：可選

▲加載功能：拉伸、壓縮、三點(diǎn)彎曲

• 電鏡主機(jī)特色

▲ 真空分隔技術(shù) ：采用獨(dú)特真空設(shè)計(jì)，電子槍和樣品倉(cāng)真空分離，換樣時(shí)間小于1min。

▲ 超大樣品倉(cāng)：提供了更大的樣品存儲(chǔ)空間，方便用戶操作。

▲ 超高分辨率：極限放大倍數(shù)達(dá)到36萬(wàn)倍，分辨率4nm@20kV。

▲ 選配減速模式：允許弱導(dǎo)電樣品在不噴金的情況下進(jìn)行觀察。

▲ 倉(cāng)內(nèi)攝像頭：樣品倉(cāng)內(nèi)置高清攝像頭，原位實(shí)驗(yàn)時(shí)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品原位變化。