PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學(xué)測量系統(tǒng)

PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學(xué)測量系統(tǒng)，采用全新的O圈輔助密封設(shè)計,攻克了以往原位液體解決方案裝樣困難的問題。

PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學(xué)測量系統(tǒng)采用全新的O圈輔助密封設(shè)計，攻克了以往原位液體解決方案裝樣困難的問題。實驗中，樣品被密封在很薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi)，池內(nèi)可以承載一個大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路，從而在掃描電鏡中搭建一個液體-電化學(xué)測試環(huán)境。     

性能指標(biāo)：

● 保證SEM真空度；

● 液體池間隔層厚度100 nm；

● 液體池內(nèi)可載入氣體或液體，池內(nèi)可承載1個大氣壓，池外滿足電鏡真空要求；

● 電壓輸出±200 V，分辨率±100 nV；

● 電流測量±1.5 A，分辨率±100 fA；

● 恒壓或者恒流模式；

● 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

部分國內(nèi)用戶

部分國外用戶

性能指標(biāo)：

● 保證SEM真空度；

● 液體池間隔層厚度100 nm；

● 液體池內(nèi)可載入氣體或液體，池內(nèi)可承載1個大氣壓，池外滿足電鏡真空要求；

● 電壓輸出±200 V，分辨率±100 nV；

● 電流測量±1.5 A，分辨率±100 fA；

● 恒壓或者恒流模式；

● 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。