PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環境測量系統

PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環境測量系統，將MEMS氣氛環境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上，在掃描電鏡中制造可控的氣氛環境并且可以對實驗樣品原位加熱。該系統允許研究者在氣氛環境中原位、動態、高分辨地對樣品的形貌結構和化學組分進行綜合表征，大大拓展了掃描電鏡的功能與應用領域。該產品可實現1 Bar & 800 ℃的觀測條件，使研究者可以在掃描電鏡中實時觀測催化反應、氧化還原反應、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應，將您的掃描電鏡從一臺靜態成像工具升級為一套功能強大的納米實驗室。

性能指標
 

氣體流動指標：

● 三通道混氣；

● 氣壓范圍：0 - 1 Bar；

● 氣壓準確度：30 mBar；

● 氣體流速： 0.01 - 0.4 ml/min；

● 可通氣體：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

● 軟件控制。

掃描電鏡指標：

● 兼容指定類型電鏡；

● 保證電鏡原有真空度；

● MEMS反應微腔指標：

● 高質量氮化硅膜厚度30 nm；

● 樣品漂移優于0.7 nm/min。

熱學指標：

● 溫度范圍：室溫至800 ℃；

● 溫度準確度：優于5%； 

● 溫度穩定性：優于±0.1 ℃；

● 四電極加熱，帶溫度反饋；

● 軟件控制。

部分國內用戶

部分國外用戶

性能指標
 

氣體流動指標：

● 三通道混氣；

● 氣壓范圍：0 - 1 Bar；

● 氣壓準確度：30 mBar；

● 氣體流速： 0.01 - 0.4 ml/min；

● 可通氣體：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

● 軟件控制。

掃描電鏡指標：

● 兼容指定類型電鏡；

● 保證電鏡原有真空度；

● MEMS反應微腔指標：

● 高質量氮化硅膜厚度30 nm；

● 樣品漂移優于0.7 nm/min。

熱學指標：

● 溫度范圍：室溫至800 ℃；

● 溫度準確度：優于5%； 

● 溫度穩定性：優于±0.1 ℃；

● 四電極加熱，帶溫度反饋；

● 軟件控制。