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TESCAN AMBER 高分辨率雙束聚焦掃描電鏡系統(tǒng)(FIB-SEM)
總體描述 技術參數(shù) 產(chǎn)品特點

TESCAN AMBER

TESCAN AMBER 是一款雙束(FIB-SEM)聚焦掃描電鏡系統(tǒng)系統(tǒng),可以滿足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和學術界研究的所有需求,在提供無與倫比的圖像質(zhì)量的同時,可完成復雜的納米操作并保證極佳的精度和操作靈活性。

TESCAN AMBER 配置了最新的 BrightBeam™ 鏡筒,真正的無磁場超高分辨(UHR)可以最大化的實現(xiàn)各種分析,包括磁性樣品的分析,以及在 FIB 操作時 SEM 的實時監(jiān)測。另一方面,創(chuàng)新的 Orage™  FIB 鏡筒配有最先進的離子光學系統(tǒng)和氣體注入系統(tǒng),使得 TESCAN AMBER 成為了世界頂級的樣品制備和納米加工的儀器。

模塊化、基于工作流的軟件確保了在所有應用中都能最大程度進行操控,不需要在復雜的技術之間進行取舍,用戶界面友好。因而 TESCAN AMBER 是高端FIB-SEM應用的理想選擇,也是所有追求日常科學和技術突破的人士的首選分析平臺。

主要特點

創(chuàng)新的 BrightBeam™SEM 鏡筒技術,實現(xiàn)真正的超高分辨(UHR)

  • 最新的 BrightBeam™SEM 鏡筒,電磁-靜電復合物鏡,配置專利的 70°極靴 ;
  • 無磁場超高分辨成像,可以最大化的實現(xiàn)各種分析,包括對磁性樣品的分析;
  • 最新的多種探測器,包括透鏡內(nèi)軸向探測器(In-Beam Axial detector )以及多控制器,可選擇不同角度和不同能量來收集信號,更好的表面靈敏度和對比度,可以看得更細致,觀察更深入;
  • 新型場發(fā)射肖特基電子槍的最大束流可達到 400 nA,同時可實現(xiàn)電子束能量的快速改變;
  • 新一代電路系統(tǒng)可同時支持多達 8 個實時信號通道
  • EquiPower™ 透鏡技術可實現(xiàn)高效的散熱并保證電子鏡筒的穩(wěn)定性;
  • 電子束減速技術(BDT)進一步加強了低電壓下的分辨率,并能同時探測 SE 和 BSE 信號(選配);

創(chuàng)新的 Orage™ Ga FIB 鏡筒可完成極具挑戰(zhàn)性的納米工程任務

  • 創(chuàng)新的 Orage™ Ga FIB 鏡筒保證絕佳的離子分辨率,30 kV 分辨率優(yōu)于 2.5 nm ,最低電壓可達 500 V;
  • 優(yōu)秀的低壓樣品制備能力可以快速制備無損超薄 TEM 樣品;
  • FIB 束流最大可達100 nA,SmartMill 級別的高速切割進行截面處理和薄片取出使得加工效率提升了一倍;
  • 快速的 FIB 納米重構技術,輕松了解樣品的超微觀信息;
  • 采用新型 OptiGIS 氣體注入系統(tǒng),可快速啟動,沉積/蝕刻穩(wěn)定性極好,一臺儀器最多安裝6個 OptiGIS;
  • 無漏磁 SEM 成像和高速 FIB 相結(jié)合,可以快速不間斷地完成銑削/連續(xù)成像,適用于 TEM / 原子探針樣品制備或 FIB-SEM 斷層掃描。

主要應用

Semiconductors & Microelectronics(半導體行業(yè)應用)

Cross-section_of_microelectronic_device_2keV_sbar_5um_Axial_detector.jpg Cross-section_of_microelectronic_device_2keV_sbar_5um_Multidetector.jpg   

 

Li-ion_battery_cathode_2keV_sbar2um_Multidetector_BSE_gridON.jpg  Li-ion_battery_cathode_2keV_sbar2um_Multidetector_SE_gridOFF.jpg  

  cross-section-30kV-85nA-17mins.jpg  RW_magnetic_head_Imaged_at_2keV_with_E-T.jpg

Materials Science(材料科學應用)

  Graphene_on_Au_contacts_on_a_SiN_substrate_500eV_sbar_5um_E-T.jpg  Graphene_on_Au_contacts_on_a_SiN_substrate_500eV_sbar_5um_Multidetector_LowLoss.jpg

  Ceramics_with_salt_500eV_sbar5um_E-T.jpg  TEM-lamella-1kV-20pA.jpg

Surface_of_a_RW_magnetic_head_2keV_sbar2um_E-T.jpg  TiO2_nanotubes_500ev_BD_sbar200nm_Axial_detector.jpg

Life Sciences(生命科學應用)

Bacterial_cellulose_uncoated_1keV_sbar_1um_E-T.jpg  Diatom_uncoated_1keV_sbar_1um_E-T.jpg  

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