帶有一體化體視鏡，用于精確定位及對較細微難以觀察的目標位置進行樣品處理時觀察；使用樣品旋轉手柄，可以改變樣品觀察角度，0°－60°可調，或者垂直于樣品前表面90°觀察，可利用目鏡刻度標尺測量距離。

一體化自動程序控制

一體化自動程序控制，包括自動左右制動機制，前進反饋力控制，倒計數功能等，為使用者節約大量時間。

表面處理與目標檢測，都通過一體化體視鏡來完成，用戶不需要專程將樣品拿出來再進行表面觀察檢測，這可大大提高使用者的工作效率。