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Sensofar 集成式3D共焦白光干涉儀測量頭S mart
總體描述 技術參數 產品特點

產品特性

S mart的重量約只有S neox的一半(6kg),加上緊湊的外觀使的它在安裝上有更多選擇,例如可以直接在生產在線安裝做分析等。一般來說,在生產的環境中通常都會有震動或有害物質污染等因素而不適合放置量測儀器,但S mart在開發時已經考慮這些因素,一體成形的設計使得它能承受外部污染或震動影響。

雖然S mart體積較于S neox小,但是同樣保留了白光干涉、相位差干涉、共聚焦(Confocal)、多重聚焦四大功能,在光源部分同樣采用LED光,客戶可以自行彈性選擇要460nm、530nm、630nm或白光等波段。

Sensofar融合共聚焦和干涉技術讓設備同時擁有了粗糙度量測、三維形貌及薄膜厚度測量等功能,正是因為這種在全世界獨特的技術融合,讓S mart光學輪廓儀的性價比遠高于其他同類型的設備。

S mart將顯微圖像、共聚焦圖像、共聚焦輪廓、相位差干涉(PSI)、白光干涉(VSI)和高分辨率的薄膜厚度測量的功能集于一體。這種基于設計的Microdisplay技術,簡明易學的軟件接口使您只需要選對鏡頭,正確對焦并選好測量方式就能快速準確地獲得所需的信息。

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