產品簡介
HP1000V-MPS Instec的真空高溫探針臺系列是可從外部移動 探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護 氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。
功能特點
mimi 型溫控探針臺，可集成到各種光學設備
可編程控溫，涵蓋 RT~1000℃
適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件 SDK
模塊化設計，可自由組合
*可升級為 8 個獨立探針
*SMA 接頭轉 BNC 四探針，手動點針 *可選三同軸接口，用于 pA 級測試
*可做定制或改動，詳詢上海恒商
溫控參數
溫度范圍 30℃~1000℃
加熱塊材質 陶瓷
傳感器/溫控方式 S / PID 控制（含 LVDC 降噪電源）
最大升溫速率 50℃/min
最小溫控速度 ±0.1℃/min
溫度分辨率 0.1℃
溫度穩定性 ±0.5℃
軟件功能 可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線
電學參數
探針 默認為錸鎢材質的彎針探針
探針座 可從外部 XYZ 移動的探針臂
點針 從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置
探針接口 默認為 SMA 接頭轉 BNC *可增設腔內接線柱（樣品接電引線）
樣 品 臺 面 電 位 默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選 三同軸接口
光學參數
適用光路 反射光路
窗片 可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離 8/12 mm （可選） *截面圖中 WD
上蓋窗片觀察 窗片范圍φ45mm，最大視角±58° *截面 圖中θ1
負溫下窗片除霜 吹氣除霜管路
結構參數
適用樣品 25 mm*25mm
樣品腔高 4/8 mm （可選）
探針座 可從外部 XYZ 移動的探針臂 粗調模式+微調模式，XY 粗調 20mm XY 微調行程 10mm,Z 微調 3mm
調節精度 10um
氣氛控制 真空腔，也可充入保護氣體
外殼冷卻 可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5kg
配置列表
基本配置 真空型臺式探針臺、mK2000B 溫控器
可選配件 安裝支架、液氮制冷系統、外殼循環水冷系統、顯 微鏡頭、防震桌、真空系統、測試源表、三同軸 BNC、 臺面電懸空、樣品接電引線
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