產品描述

澤攸科技無掩膜光刻機是一種先進的光刻技術設備，它不需要使用傳統的物理掩膜版來轉移電路圖形，而是通過計算機控制的高精度光束直接在感光材料上進行掃描曝光，形成所需的微細圖形。目前在微電子制造、微納加工、MEMS、LED、生物芯片等領域有廣泛的應用。

光路遠離結構圖

應用案例

澤攸科技無掩膜光刻機在MEMS壓力傳感器制造中的應用

澤攸科技無掩膜光刻機在PtTe2/WS2/金字塔狀Si異質結構制備中的應用

技術特點

▲ 納米壓電位移臺拼接技術

▲ 紅光引導曝光，所見即所得

▲ OPC修正算法優化圖形質量

▲ CCD相機逐場自動聚焦

▲ 灰度勻光技術

主要指標