可容納最大樣品尺寸50*50*10mm，可獲得有效切割截面面積>4mm*1mm 三把離子槍，離子束能量1Kev-10Kev，切割速率150um/h
離子束處理過程中樣品位置固定，無需偏轉(zhuǎn)運動，無投影效應(yīng)，熱傳導(dǎo)性好
可進(jìn)行離子束切割或刻蝕，可選擇任意離子槍
真空泵解耦合設(shè)計，無震動傳導(dǎo)
觸摸屏操作面板，直觀、簡易操作，可編程科軟件升級
可選配：液氮制冷冷臺-150℃至30℃，25L液氮罐及自動泵，具有自動快速制冷功能
可選配：三樣品臺，可一次連續(xù)處理三個樣品
可選配：旋轉(zhuǎn)樣品臺，用于對樣品進(jìn)行離子束拋光