
可容納最大樣品尺寸50*50*10mm,可獲得有效切割截面面積>4mm*1mm 三把離子槍,離子束能量1Kev-10Kev,切割速率150um/h
離子束處理過程中樣品位置固定,無需偏轉(zhuǎn)運動,無投影效應(yīng),熱傳導(dǎo)性好
可進(jìn)行離子束切割或刻蝕,可選擇任意離子槍
真空泵解耦合設(shè)計,無震動傳導(dǎo)
觸摸屏操作面板,直觀、簡易操作,可編程科軟件升級
可選配:液氮制冷冷臺-150℃至30℃,25L液氮罐及自動泵,具有自動快速制冷功能
可選配:三樣品臺,可一次連續(xù)處理三個樣品
可選配:旋轉(zhuǎn)樣品臺,用于對樣品進(jìn)行離子束拋光
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