集 3 種聚焦離子束于一身的顯微鏡，可以實現亞 10 nm 結構的超高精度加工

快速、精準的亞 10 納米結構加工。借助 ORION NanoFab 顯微鏡可在鎵、氖及氦離子束之間實現無縫切換：

• 氖離子束可以快速高效地進行納米結構加工。
• 氦離子束可以加工亞 10nm 級精度的結構。
• 備選的鎵聚焦離子束能夠進行大塊樣品材料的刻蝕。

ORION NanoFab 集鎵、氖、氦三種離子束于一身，是能實現從微米到納米微加工的先進成像加工系統。

（一）、ORION NanoFab 產品特點

1. 快速亞 10 nm 結構加工
使用氖和氦離子束加工有超高精度要求的精細亞 10 納米結構。無論是使用濺射、氣體輔助切割、氣體輔助沉積或是光刻技術刻蝕材料，在亞 10nm 加工應用中 ORION NanoFab 均表現不凡。
 

2. 集三種離子束顯微技術于一體
使用鎵聚焦離子束刻蝕大塊材料。利用精準的氖離子束快速完成微加工，利用氦離子束加工精細的亞 10 納米級結構。利用氦和氖離子還可以防止傳統 FIB 鎵粒子注入引起的基體材料性質變化。
 

3. 高分辨率成像
借助 0.5 納米成像分辨率，它可在同一臺加工儀器中實現樣品的高分辨率成像。與使用場發射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）成像相比，其可獲得 5 至 10 倍的景深并和更豐富的圖像細節。

（二）、納米加工

Orion NanoFab 擁有納米加工和成像引擎 - 配有集成軟、硬件的控制系統。納米圖形發生器（NPVE）為每個 NanoFab 鏡筒提供了一臺 16 位掃描圖形發生器，以及支持實時圖案加工和成像的雙信號采集硬件。通過圖形化用戶界面（GUI）完全控制離子束：可創建一系列可編輯的形狀，如矩形、梯形、多邊線、直線、折線、橢圓及點。然后，對這些形狀進行矢量切割，并通過劑量和加工參數的調節進行完全的過程控制。