S wide 是專用系統，適用于快速測量大樣品區域，測量面積最高可達 300 x 300 mm。它具有集成了數字顯微鏡的高分辨率測量儀器的所有優點。一鍵式采集功能，易于使用。

整個拼接擴展區域都擁有亞微米高度重復性。

 

可追溯性

我們的所有系統精心制造，提供準確、可追溯的測量。系統按照符合ISO 25178第 7 部分關于下列參數的指南的可追溯標準進行校準：Z 放大系數、XY 橫向尺寸、平面度誤差以及偏心度。