我們很高興與您分享一些有關(guān)我們的 S mart 2 系統(tǒng) 令人興奮的消息！在本新聞中，您將了解到有關(guān)新功能的信息，有一個(gè)演示該系統(tǒng)在 CMP 過(guò)程的案例研究以及我們?cè)谥袊?guó)的合作伙伴成功完成的一次集成的消息。

打開(kāi)新的探索途徑！ 

S mart 2變得更加靈活多樣，添加了三個(gè)新干涉物鏡，包括干涉2.5X TI和5X TI，以及明場(chǎng)100X EPI鏡頭。有了這些新鏡頭，顯微鏡的功能得到了大大增強(qiáng)。

接近科技的極限

使用CSI的膜厚模式，用戶可以獲取約為1.5微米厚的透明膜層的頂部、厚度和底部的地形數(shù)據(jù)。

CMP過(guò)程中PAD表面監(jiān)測(cè)的在線計(jì)量學(xué)

在CMP過(guò)程中，頻繁更換拋光墊常常導(dǎo)致停機(jī)時(shí)間增加和產(chǎn)量下降。為了解決這個(gè)問(wèn)題，我們將我們的便攜式系統(tǒng)S mart 2進(jìn)行了改進(jìn)，以便進(jìn)行在線測(cè)量，并檢測(cè)溝槽阻塞和墊片上的粗糙度情況。

S mart 2可以將拋光墊的使用壽命延長(zhǎng)20％，為半導(dǎo)體、硬盤(pán)和LED晶圓制造領(lǐng)域提供了一種具有成本效益的解決方案。

可集成解決方案在中國(guó)取得成功

我們很高興與您分享關(guān)于我們合作伙伴蘇州黑河在中國(guó)成功集成的一些新聞和視頻。

我們的技術(shù)已經(jīng)證明了其與不同制造過(guò)程和系統(tǒng)的集成性，使它成為先進(jìn)的表面計(jì)量學(xué)的一種靈活而強(qiáng)大的工具。

通過(guò)這種集成的成功，我們有信心會(huì)有更多的集成商能夠利用我們的技術(shù)來(lái)增強(qiáng)他們的質(zhì)量控制流程，實(shí)現(xiàn)更高效、更準(zhǔn)確的結(jié)果。